Giới thiệu Sách - Cảm Biến Và Vi Chấp Hành: Vi Hệ Thống Cơ - Quang - Điện Tử
Sách - Cảm Biến Và Vi Chấp Hành: Vi Hệ Thống Cơ - Quang - Điện Tử Tác giả PGS. TS. Chu Mạnh Hoàng Nhà xuất bản NXB Khoa Học Và Kỹ Thuật Đơn vị phát hành NXB Khoa Học Và Kỹ Thuật Ngày xuất bản 05-2021 Số trang 256 Kích thước 16 x 24 cm Loại bìa Bìa mềm Nội dung "Công nghệ vi hệ thống cơ - điện tử (Micro Electro - Mechanical System - MEMS) cũng như công nghệ vi hệ thống cơ - quang - điện tử (Micro Electro - Optical - Mechanical System - MEOMS) đã được phát triển dựa trên công nghệ vi điện tử mà nó đã được ứng dụng thành công trong công nghệ chế tạo mạch điện tử tích hợp. Sách ""Cảm biến và vi chấp hành: Vi hệ thống cơ - quang - điện tử"" gồm 5 chương: - Chương 1: Các cơ chế nhạy ứng dụng trong cảm biến MEMS/MEOMS - Chương 2: Cảm biến vật lý MEMS/MEOMS - Chương 3: Các cơ chế chấp hành MEMS/MEOMS - Chương 4: Các lò xo vi cơ được ứng dụng trong MEMS/MEOMS - Chương 5: Bộ vi dịch chuyển dựa trên chấp hành tĩnh điện"